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光掩膜是刻有微電路的高精度版，由表面純平並帶有一層鉻的石英板或玻璃板製作而成，蝕刻後的殘留鉻部分即為設計的微電圖。這種製版方式在掩膜行業稱為光透。
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光掩膜是刻有微電路的高精度版，由表面純平並帶有一層鉻的石英板或玻璃板製作而成，蝕刻後的殘留鉻部分即為設計的微電圖。這種製版方式在掩膜行業稱為光透。